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化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究_圖文_
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白英英,張守龍,徐友峰-2013[####]本發明一種提高銅機械研磨效率的裝置,其中,包括以下工藝步驟:形成層介電層,在層介電層上表面沉積刻蝕阻擋層,在刻蝕阻擋層上沉積層介電層;在層介電層上生...[/####] 內徑研磨機價格_廠家直銷價格優惠-昆山詹允精密機械
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