【】化學機械研磨方法 Chemical mechanical polis..._

鄧武鋒-CN-2010[####]本發明提供了一種化學機械研磨方法,用于研磨填充有金屬的溝槽結構;所述化學機械研磨方法包括在研磨臺上進行主研磨和在研磨臺上研磨去除溝槽上方剩余的金屬的步驟...[/####] 【】化學機械研磨用水系分散體及半導體裝置的化學..._

安藤民智明,金野智久-2009[####]本發明提供一種化學機械研磨用水系分散體,其pH為4～5,用于同時對由選自多晶硅膜、氮化硅膜及氧化硅膜中的2種以上形成的被研進行研磨,其含有:0.1～4質量%的(A)具有10n...[/####] 太原實驗室研磨機-機械-六安新聞網

7天前-生產、銷售為一體的專業化、現代化的機械公司。...石油化工、乳品、化妝品、農藥、有機硅等眾多...砂磨機設計原理砂磨機,采用偏心盤研磨結構,并按...

硅石研磨機械工作原理

硅石磨_鄭州義龍礦山機械有限公司-必途 b2b.cn 2 陶瓷、硅石、橡膠、金屬(配套動力依據采用襯板材質和研磨物料的不同會有所差異) 硅石磨的工作原理 電機通過減速...

硅襯底的化學機械拋光工藝研究_

譚剛,吳嘉麗-《儀器儀表學報》-2005-被引量:13[####]液進行比較后提出了參與機械研磨的有效粒子數才是機械拋光過程的重要因素,而不是...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學機械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學報,2005,26(8...[/####] 硅片研磨和研磨液作用的分析 -

2016年2月1日-隨著半導體工業 50 nm。 硅襯底片的研磨是保證襯底...這些機械損傷若殘留在硅 要包括: 有機堿、表面活性...原理和改進方向3 作用下微裂縫不但無法愈合...

軟金屬潤滑納米體研磨制備方法研究-中國機械工程2007年09期-手機...

采用行星式球磨機和濕式研磨法,以鉛為對象探討了制備軟金屬納米粒子體的工藝方法...[文獻類型]:期刊 [文獻出處]:《中國機械工程2007年09期 》 文章...

硅片加工表面拋光_機械/儀表_工程科技_專業資料

評分:5/5102頁[/####]2015年4月7日-硅片拋光的意義硅加工中,多線切割、研磨等加工過程...2) 化學機械拋光的基本原理 ? 3) 化學機械拋光的...拋光液的純度——金屬含量(Cu,Al,Fe) ? 2)拋...

切割/研磨設備 生產商 - 硅棒/硅錠生產設備 | 企業名錄 | 易恩孚...

石家莊威鋒機械制造有限公司 中國大陸 硅棒切割設備 無錫開源太陽能設備科技有限公司 中國大陸 硅棒切割設備,硅棒研磨設備 無錫上機數控股份有限公司 中國大陸 硅棒...

工業硅研磨機械工作原理_相關論文(共69篇)_

被引:1超聲橢圓振動復合化學機械研磨硅片運動軌跡仿真研究?組合機床與自動...被引:7粉磨工藝及設備(職業技術教育國家規劃教材)武漢理工大出版社被引:27粉煤灰機械研磨中物理與機械力化學現象的研究《南京工業大學》查看更多相關論文>> 粉碎機械_水泥磨機 超微粉碎能達到幾目 工業硅研磨機械 -

水泥磨機 超微粉碎能達到幾目 工業硅研磨機械...重量 400(kg) 粉碎程度 超細磨機 原理 超聲波粉碎...

新聞:蘇州(磁力研磨機工作原理)有限公司歡迎您 - 蘇州電動工具 - ...

19小時前-()機械有限公司CEOUweRondé博士、巨浪(太倉)...石墨烯的發現為人類開啟了從“硅時代”邁向“碳...(磁力研磨機工作原理)有限公司歡迎您感興趣,請...

ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究_

周建偉,劉玉嶺,張偉-《半導體學報》-2007[####]通過對傳統硅片研磨加工工藝過程中的問題進行深入研究和分析,總 結了影響硅片表面質量的主要影響因素,提出了將化學機械平整化技術應用到ULSI硅襯底研磨加工的新方法,...[/####] 【】化學機械研磨方法和裝置_

楊濤-CN[####]本發明公開了一種化學機械研磨方法,包括:確定硅片上待研磨的材料以及各材料的研磨順序,根據確定結果選擇滾卷,所述滾卷上按研磨順序依次設置有用于研磨不同材料的研磨墊;...[/####] 機械研磨制備硅灰石-SiO2復合顆粒及其表征_

崔嵬,任天宇,陳婉婷-《非金屬礦》-2016-被引量:1[####]采用機械研磨法,通過白炭黑濕法研磨解聚和硅灰石-白炭黑共混研磨手段制備硅灰石-無定形SiO2復合顆粒,對復合過程各因素進行了優化,對硅灰石-SiO2復合顆粒的結構進行了...[/####] 明礬石研磨機械工藝流程

破碎機械設備明礬石研磨機械工藝流程明礬石研磨機械工藝流程礦業工業旅游項目選址...磨煤機石子煤鈣粉生產工藝明礬石研磨機械工作原理價格。(Hc.com)供應商上海...

機械設計制造工藝及加工技術研究

機械設計制造是工業部門中的支柱性產業,對經濟發展速度...利用流動的磷硅玻璃填平表面,之后在沉積的鈍化層與...3.1精密研磨技術。精密研磨技術主要通過精密研磨的工藝...

【工業硅設備價格,針狀硅灰石粉碎機械廠家】- 網

2017年7月18日-江蘇奇新金屬硅深加工機械設備有限公司發明設計的DCS金屬硅粉生產線研磨系統設備通過...工業硅粉碎機械工作原理新聞重工科技這些破碎的機械性能各...

化學機械研磨_手機互動百科

研磨制程根據研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...

化學機械拋光的步驟|自動拋光機

依據機械加工原理、半導體材料工程學、物力化學多相...XPJ研磨拋光機、XPJ不銹鋼拋光機、XPJ去毛刺拋光機、...銀 銥 特殊/稀有貴金屬/半金屬 釕 銠 金 硅 鋨...

【硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機械工作原理】-網

2016年11月23日-金屬硅、電解猛、碲銻合金、炭化硅、金鋼砂、冶煉礦、鈣鎂礦、 煤炭、活性炭...上海昌磊機械成套設備有限公司為你提供的“硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機械...

【技術】機械研磨方法制備硅灰石-TiO2復合顏料工藝研究!_搜..._

2017年7月7日-存在的資源、環境與成本價格等問題的有效措施,同時還有利于非金屬礦物資源...采用液相機械力研磨方式,通過硅灰石與TiO2濕法共混研磨手段實現TiO2顆粒...

機械式油霧收集器工作原理 -【廣州市綠益康環保科技有限公司】

2018年7月26日-機械式油霧收集器工作原理 吸附到油霧雜質。油...鏡片研磨機、壓鑄機等)發電廠.鍛壓工廠.軸承廠...平輿AEPS硅質聚合物聚苯板生產線設備尺寸可以定做...

硅石砂研磨機械工藝流程

硅石球磨機:鄭州義龍礦山機械有限公司的硅石球磨機是 機械及行業設備> 礦業輸送設備...工業硅磨粉廠 硅砂研磨機械價格 硅石砂磨粉機械工作原理 硅石砂磨粉機械多少錢一...

CMSD2000-新型負極材料硅碳復合材料研磨分散機,電池負極材料分散...

2017年4月26日-新型負極材料硅碳復合材料研磨分散機,電池負極材料分散機立式分體結構,精密的零部件配合運轉平穩,運行噪音在73DB以下。同時采用德國博格曼雙端面機械...

化學機械研磨對硅片表面微粗糙度的影響 -

2016年5月20日-主要工作與創新 59 5.2 后續研究工作 60 65攻讀...機械研磨示意圖(SMIC 培訓資料) 圖2-3氧化硅研磨...(ILD—Inter Level Dielectric)和各種金屬薄膜層...

工業硅粉碎機械工作原理

工業硅研磨機械工作原理-粉碎機械知識價格工業硅研磨機械工作原理工業硅研磨機械工作原理研磨機機械原理發布時間標簽研磨機特點與用途采購百科導讀研磨機采用無級調速系...