煤制砂機械工作原理
工業(yè)硅制砂機械工作原理工業(yè)硅制砂機械工作原理,煤制砂機械工作原理煤化工是煤炭...水渣研磨機械工作原理,信息-上海選礦機器設備有限公司水渣鐵研磨機械工作原理我國...
【】一種化學機械研磨漿料組成_
胡紹中,蔡騰群,許嘉麟-CN-2003-被引量:4[####]一種化學機械研磨漿料組成。包含有一研磨粒成分金屬氧化物、預定濃度的溶解態(tài)臭氧及添加劑,漿料組成的pH值介于1-10之間。通過臭氧作為CMP研磨漿料的氧化劑,具有較佳的氧...[/####] 超聲振動輔助化學機械復合研磨硅片技術的基礎研究_
臣-《江西農(nóng)業(yè)大學》-2012-被引量:1[####]隨著微電子技術行業(yè)的迅猛發(fā)展,作為制造微電子芯片常用的半導體材料——單晶硅片,其精密及超精密加工技術也越來越被受到重視。本文在深入研究分析國內(nèi)外研磨加工和...[/####] 【】化學機械研磨裝置 Chemical mechanical poli..._
孔祥濤,陳建維,張旭升-2013-被引量:2[####]一種化學機械研磨裝置,包括:轉(zhuǎn)軸;研磨臺,設置在所述轉(zhuǎn)軸的端部;研磨墊,設置在所述研磨臺之異于所述轉(zhuǎn)軸的一側(cè);研磨頭,具有內(nèi)置中空容置空間,并與所述研磨墊呈面向設置;施...[/####] 機械研磨制備硅灰石-SiO2復合顆粒及其表征_
崔嵬,任天宇,陳婉婷-《非金屬礦》-2016-被引量:1[####]采用機械研磨法,通過白炭黑濕法研磨解聚和硅灰石-白炭黑共混研磨手段制備硅灰石-無定形SiO2復合顆粒,對復合過程各因素進行了優(yōu)化,對硅灰石-SiO2復合顆粒的結(jié)構進行了...[/####] 【】改善鎢栓化學機械研磨表現(xiàn)的方法_
張亮-2012[####]一種改善鎢栓化學機械研磨表現(xiàn)的方法,包括:執(zhí)行步驟S1:提供介質(zhì)材料襯底;執(zhí)行步驟S2:在所述介質(zhì)材料襯底之頂層沉積所述氮化硅薄膜;執(zhí)行步驟S3:光刻、刻蝕、去膠清洗,并進...[/####] 化學機械研磨機臺
一種化學機械研磨機臺,包括多個研磨臺,呈同心圓環(huán)狀配置,彼此以一間距相鄰,設于旋轉(zhuǎn)座上,并以同一方向旋轉(zhuǎn);在各研磨臺上,裝有形狀相符的研磨墊;以及一分送管...
一種減少埋層空洞型soi晶片化學機械研磨破裂的工藝
針對埋層空洞型SOI晶片(Cavity?SOI)的化學機械研磨減薄,主要步驟為:壓力設定、鍵合、粗磨、精拋,完成埋層空洞型SOI晶片的制作。根據(jù)SOI晶片頂層硅膜的終厚度...
硅石砂研磨機械工藝流程
硅石球磨機:鄭州義龍礦山機械有限公司的硅石球磨機是 機械及行業(yè)設備> 礦業(yè)輸送設備...工業(yè)硅磨粉廠 硅砂研磨機械價格 硅石砂磨粉機械工作原理 硅石砂磨粉機械多少錢一...
【】提高硅化學機械拋光效率的方法_
程曉華,方精訓,鄧鐳-2011[####]本發(fā)明公開了一種提高硅化學機械拋光效率的方法,在晶圓到達研磨墊后,進行硅化學機械拋光之前,采用刻蝕藥液對晶圓進行表面處理。本發(fā)明能夠完全去除硅表面自然產(chǎn)生的氧化...[/####] 【】化學機械研磨用水系分散體及半導體裝置的化學..._
安藤民智明,金野智久-2009[####]本發(fā)明提供一種化學機械研磨用水系分散體,其pH為4～5,用于同時對由選自多晶硅膜、氮化硅膜及氧化硅膜中的2種以上形成的被研進行研磨,其含有:0.1～4質(zhì)量%的(A)具有10n...[/####] 化學機械研磨漿液與化學機械平坦化方法
一種化學機械研磨漿液,特別涉及一種可將一片圖案晶圓上的銅磨除掉的化學機械研磨漿液,包含一種酸、一種界面活性劑、一種水性介質(zhì),及數(shù)顆經(jīng)一種表面電性改質(zhì)劑...
硅片研磨表面狀態(tài)的改善和研磨液的改進_圖文_
評分:3.5/56頁[/####]2014年6月13日-此實驗是為了分析采用不同漿液測得的應 力大小和硅晶片的機械損傷,比較哪一種研磨液效 果比較好。 2.2表面活性劑作用及原理 表面活性劑是使表面具...
用于多晶硅化學機械研磨制程中缺陷檢測晶圓的制作方法
一種用于多晶硅化學機械研磨制程中缺陷檢測晶圓(控片)的制作方法,在硅襯底上沉積一薄層氧化硅薄膜后,再在氧化硅層上沉積一層氮化硅阻擋層,然后再在氮化硅阻擋層...
一種自動調(diào)節(jié)化學機械拋光設備硅片研磨壓力的方法
本發(fā)明公開了一種自動調(diào)節(jié)化學機械拋光設備硅片研磨壓力的方法,使用化學機械拋光設備對硅片研磨,在該化學機械拋光設備的HCLU內(nèi)加裝壓力感應傳感器,然后循環(huán)執(zhí)行以下步驟...
【硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機械工作原理】-網(wǎng)
2016年11月23日-硅礦,氧化鐵紅,鋇鹽,鉀鹽,明礬,鋁礬土,剛玉,炭化硅,鉀長石,珍珠巖,鋰長石,...上海昌磊機械成套設備有限公司為你提供的“硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機械工...
硅襯底的化學機械拋光工藝研究_
譚剛,吳嘉麗-青年學術會議-2005-被引量:13[####]在對不同粒徑分散度的氧化鈰拋光液進行比較后提出了參與機械研磨的有效粒子數(shù)才...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學機械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學報,2005,26(8...[/####] 粉體工業(yè)中常用的破碎工藝與破碎機械
工作原理:被破碎的物料,在兩個相對轉(zhuǎn)動的圓輥夾縫中...上繼續(xù)受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...高性能硅納米粒子 融資目標:700.00萬 出讓股份:15...
明礬石研磨機械工藝流程
磨煤機石子煤鈣粉生產(chǎn)工藝明礬石研磨機械工作原理價格。(Hc.com)供應商上海世邦機器有限公司磨煤機石子煤鈣粉生產(chǎn)工藝明礬石研磨機械工作原理。本公司磨煤機石...
切割研磨設備 - 硅棒硅錠生產(chǎn)設備名錄_
評分:4/521頁[/####]2011年1月14日-硅棒切割設備, 硅棒研磨設備 石家莊威鋒機械制造有限公司 中國大陸 硅棒切割設備, 硅棒研磨設備 無錫開源太陽能設備科技有限公司 中國大陸 300 硅棒切...
粉碎機械_水泥磨機 超微粉碎能達到幾目 工業(yè)硅研磨機械 -
水泥磨機 超微粉碎能達到幾目 工業(yè)硅研磨機械...重量 400(kg) 粉碎程度 超細磨機 原理 超聲波粉碎...
硅片研磨和研磨液作用的分析 -
2016年2月1日-研磨液由多種成分組成, 主 錯; 下層為彈性形變層。這些機械損傷若殘留在硅 ...原理和改進方向3 作用下微裂縫不但無法愈合, 而且越來越深和擴 大, 有...
硅片加工表面拋光_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料
評分:5/5102頁[/####]2015年4月7日-硅片拋光的意義硅加工中,多線切割、研磨等加工過程中, 會在表面形成損傷層,...2) 化學機械拋光的基本原理 ? 3) 化學機械拋光的設備結(jié)構 ? 4) 化學機械...
工業(yè)硅粉碎機械工作原理
工業(yè)硅研磨機械工作原理-粉碎機械知識價格工業(yè)硅研磨機械工作原理工業(yè)硅研磨機械工作原理研磨機機械原理發(fā)布時間標簽研磨機特點與用途采購百科導讀研磨機采用無級調(diào)速系...
鉬硅混合粉末在機械合金化過程中的結(jié)構演變_
馬勤,翠霞,薛群基-《稀有金屬材料與工程》-2003-被引量:13[####]采用X射線衍射儀(XRD)和差熱分析儀(DTA)研究了Mo-67at%Si元素混合粉末在中等強度的機械研磨(合金化)過程中的結(jié)構變化過程。結(jié)果表明:在中等強度的研磨過程中,β-MoSi2...[/####] 涂料磨具基礎知識_
評分:3.5/510頁[/####]2011年1月18日-涂料磨具基礎知識 - 磨料是一種具有高硬度和一定機械強度的顆粒材料,是用于制造磨具或直接用于研磨和拋光。
化學機械研磨_手機互動百科
研磨制程根據(jù)研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...
硅石研磨機械工作原理
高科機械第三代全新鋁灰球磨機硫酸渣球磨機硅石球磨機 1845 鞏義市高科機械廠 硫酸...(配套動力依據(jù)采用襯板材質(zhì)和研磨物料的不同會有所差異) 硅石磨的工作原理 ...
硅襯底的化學機械拋光工藝研究_
譚剛,吳嘉麗-《儀器儀表學報》-2005-被引量:13[####]液進行比較后提出了參與機械研磨的有效粒子數(shù)才是機械拋光過程的重要因素,而不是...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學機械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學報,2005,26(8...[/####] 機械化學研磨_
李合慶-《磨料磨具通訊》-2003[####]摘 要:[/####] 【】化學機械研磨方法 Chemical mechanical polis..._
鄧武鋒-CN-2010[####]本發(fā)明提供了一種化學機械研磨方法,用于研磨填充有金屬的溝槽結(jié)構;所述化學機械研磨方法包括在研磨臺上進行主研磨和在研磨臺上研磨去除溝槽上方剩余的金屬的步驟...[/####] 表面機械研磨_異步軋制無取向硅鋼薄帶的滲硅行為_莫成..._
評分:2.5/54頁[/####]2013年6月25日-表面機械研磨_異步軋制無取向硅鋼薄帶的滲硅行為_莫成剛 - 第 10 卷第 3 期 2011 年 9 月 材料與冶金學報 Journal of Materials and Meta...
